Установка вакуумного напыления Fermi

Установка вакуумного напыления Fermi в Казани

Установка вакуумного напыления Fermi предназначена для создания напылительного оборудования чистых производств. Установки, построенные на данной платформе, предназначены для использования в лабораториях и на мелкосерийном производстве.

Ключевой особенностью данной платформы является размещение технологических устройств, как на боковых стенках и дверях вакуумной камеры, так и на днище.

Особые конфигурации предусматривают шлюзовую загрузочную камеру. При этом подложки размещаются на вращающемся подложкодержателе. Вакуумная камера имеет D-образную форму или форму многогранника.

Установка вакуумного напыления Fermi 500 Задать вопрос

Технические характеристики: 4 технологических устройства: 3 магнетрона, 1 многоячеечный ионный источник, 8-позиционный подложкодержатель Диаметр мишени: 50 мм Тип мишени: проводящие материалы Внутренние габариты вакуумной камеры (ДxШxВ): 500x500x500мм Область применения: Напыление многослойных покрытий различного назначения. Цена: 17 850 000 руб. Звоните по т. 8(800)222-90-33, либо отправляйте заявку, и мы подберем решение для Вашего производства!

Преимущества установки вакуумного напыления Fermi

• Возможность использования нескольких устройств в одном технологическом цикле: магнетрон, электронно-лучевой испаритель, терморезистивный испаритель.
• Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304.
• Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки.
• Простота модернизации.

Виды установок вакуумного напыления на основе платформы Ферми:

• Установка магнетронного напыления Ферми;
• Установка электронно-лучевого напыления оптических покрытий Ферми;
• Установка ионно-лучевого напыления оптических покрытий Ферми;
• Установка магнетронного и терморезистивного испарения Ферми.

Установка магнетронного напыления Ферми

Вакуумная установка для магнетронного напыления Ферми предназначена для нанесения металлов и других электропроводящих соединений посредством магнетронов с возможностью ионной обработки поверхности и ассистирования.

Установка обеспечивает напыление многослойных покрытий, как по заданной программе, так и в ручном режиме. Конструктивно установка выполнена в виде кубической вакуумной камеры, установленной на монтажной раме. Отдельно устанавливается стандартная 19-ти дюймовая телекоммуникационная стойка с источниками питания, контроллерами и управляющим компьютером, а также чиллер охлаждения.

На вакуумной камере установлена дверь загрузки/выгрузки и обслуживания технологических устройств. Подложки устанавливаются в горизонтально расположенный карусельный подложкодержатель – реализована схема напыления «снизу вверх». 

Установка электронно-лучевого напыления оптических покрытий Ферми

Установка электронно-лучевого напыления предназначена для нанесения покрытий посредством электронно-лучевого испарителя. При данном способе нанесения покрытий обеспечивается однородность структуры покрытия (отсутствие дефектов) и равномерность по толщине по всей площади подложки.

Виды оптических покрытий:

• Поляризаторы;
• AR-покрытия;
• Линзы и компоненты камер;
• Цветовые фильтры;
• Интерференционные зеркала;
• Сенсорные экраны.

Особенности:

• Широкополосная система оптического контроля;
• Карусельный и планетарный подложкодержатели;
• Шлюзовая загрузка-выгрузка;
• Безмасляная вакуумная откачка;
• Ручной/автоматический режим;
• Возможность ионно-лучевой очистки и ассистирования;
• Регулируемая зона напыления;
• Сетевое подключение и удаленный доступ;
• ПО собственной разработки (зарегистрировано в реестре ПО Минцифры РФ);
• Простота технического обслуживания.

Установка ионно-лучевого напыления оптических покрытий Ферми

Предназначение - серийное производство высокоточных покрытий компонентов лазерной оптики и гироскопов, элементов, применяемых в метрологии, микроскопии, телекоммуникации.

Виды оптических покрытий:

• Фильтры;
• Поляризаторы с высокой лучевой стойкостью;
• Параметрические покрытия;
• Зеркала с ультранизкими потерями.

Преимущества:

• Широкополосная система оптического контроля;
• Высокая оптическая однородность покрытий;
• Шлюзовая камера загрузки-выгрузки изделий;
• Сниженный уровень натекания газов в вакуумную камеру за счёт использования металлических уплотнений и двойных уплотнений с дифференциальной откачкой;
• Использование периферийных устройств с низким газовыделением;
• Криогенная откачка;
• Низкая зависимость от импортных комплектующих;
• Сетевое подключение и удаленный доступ;
• ПО собственной разработки (зарегистрировано в реестре ПО Минцифры РФ).

Установка магнетронного и терморезистивного испарения Ферми

Установка магнетронного и терморезистивного испарения предназначена для нанесения металлов и органических соединений посредством ПТ/ВЧ магнетронов и терморезистивных испарителей с возможностью термостатирования образцов.

Вакуумная камера герметично пристыкована к перчаточному боксу таким образом, что загрузка/выгрузка подложек осуществляется без разгерметизации на атмосферу. Также вакуумная камера имеет дверь сервисного обслуживания технологических устройств, которая открывается на атмосферу. Подложки устанавливаются в горизонтально расположенный термостатируемый подложкодержатель – реализована схема напыления «снизу вверх».

Технологии

• Магнетронное напыление: постоянный ток/ ВЧ
• Электронно-лучевое испарение
• Ионно-лучевое напыление
• Термическое напыление

Габариты вакуумной камеры зависят от размера и количества одновременно обрабатываемых подложек, а также от способа их размещения в оснастке. В соответствие с выбранной конфигурацией диаметр вписанной окружности вакуумной камеры может варьироваться от 400 мм до 1000 мм.

Наносимые покрытия: металлы, оксиды, нитриды, карбиды. Также возможно распыление ферромагнетиков магнетронами с усиленной магнитной системой.

Области применения

• Исследования в области физики твёрдого тела
• Оптика
• Электронное производство